2• 精密儀器設備防震工程及移機、搬運、安裝工程。
  隨著先進的IC製程技術發展,日新月異,現已進入0.35μ以下的製程產品,其製造所需要的儀器設備亦日趨要求更為精密準確;何況台灣又地處於亞太地震高頻發生地區.如何避免震動(VIBRATION),所產生的災害及損失,勢必又是IC半導體業者所需克服的另一道難題。

  分析震動的來源,不外乎來自:
1•地震。
2•卡車運輸及工程施工等。
3•機台設備本身產生的震動及鄰近機台設備產生的震動透過地板傳導而來。
4•潔淨室工作人員因走動而產生的震動經由高架地板或中空樓板傳導而來。
5•因設備搬運或產品搬運而產生的震動,經由高架地板或中空樓板傳導而來。
  
  本公司致力協助IC半導體業者解決震動問題,均詳加諮詢深入了解現場環境及震源,適時適地提出最佳的建議;防震工程於半導體潔淨室中所應用之範圍甚廣,舉凡發電機、空壓機、冷卻水塔、馬達、風車等廠務設施基座的避震、各種管路的懸吊避震…不一而足,特別是精密的製程儀器設備,更是非要有防震裝置不可,一般而言,半導體設備的防震裝置區分成三種:

A•隔離方式
a•隔離支座:配合儀器設備之支腳位置及數量,將高架地板開孔,並裝置隔離支座,
  以隔離高架地板所傳導而來之震動。(圖一)
b•隔離地板(台):配合儀器設備所需之大小面積,將高架地板切割,並裝置隔離地板
  (台),以隔離高架地板所傳導而來之震動。(圖二)

B•防震方式
a•防震支座:配合儀器設備之支腳位置及數量,另裝設避震墊塊或氣墊式避震器於地
  板上,以吸收震動。(圖三)
b•防震地台(台):配合儀器設備所需之大小面積,製作成地板(台),其下另裝設避震
  器,以吸收震動。(圖四)

C•隔離防震方式
a•隔離防震支座:配合儀器設備之支腳位置及數量,將高架地板開孔,並裝置其上裝
  有避震墊塊或氣墊式避震器之隔離支座,以有效隔離高架地板及中空樓板所傳導而
  來之震動。(圖五)
b•隔離防震地板(台):配合儀器設備所需支大小面積,將高架地板切割,並裝置其上
  裝有避震墊塊或氣墊式避震器之隔離地板(台),以有效隔離高架地板及中空樓板所
  傳導而來之震動。(圖六)

※ 製作規範:
1•設備防震平台採"U"型槽鋼為外框,上面採6tSS41鋼板"ㄇ"狀,其內採Φ5/8鋼筋交
  叉綁設二層後,翻轉填貫高磅數特殊,CONCRETE,凝固14天後,採特級硬化EPOXY
  -COATING處理(顏色指定為奶白色#1-13)。
2•平台鋼構托架,均採WIDE FLANGE BEAM 150*150 H型鋼製作成一體框架,可
  至潔淨室設備設置及現場主裝,所有成品均須經噴砂處理後施以底漆及面漆各二次
  EPOXYCOATING處理(顏色指定為奶白色#1-13)。
3•安裝進場須配合鋪設鋼板於高架地板上,使得搬運.並須以特製吊架配合預留之吊
  環,小心穩定的將平台托架放至於中空構板上。
4•CONCRETE平台與鋼構托架結合時,均須採用丁基橡膠(BUTYLRUBBER)防震墊
  為結合介面以吸震防震。
5•底框主架結合定位後須以膨脹螺釘固定於地板上,並以連結桿結合成框架補強固定。
6•安裝前須負責拆除設置點內之高架地板及腳座,並以EPOXY補漆受損之地板。
7•安裝後須將防震平台調整按正水平,以符合裝機要求標準,並須以Φ1/2"牙桿以伸
  縮器(或鋼索)牽連固定座以增加平台穩定並補強。
8•平台尺寸:W1651*D2336*H600 設備重量:2600KG以上。

(圖一)隔離支座
(圖二)隔離地板(台)
(圖三)防震支座
(圖四) 防震地台(台)
(圖五)隔離防震支座
(圖六)隔離防震地板(台)











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