1•迷你型潔淨環境及隔離工程(MINI-ENVIRONMENT ENCLOSURE ENGINEERING)。
  潔淨室目前已是半導體工業和生物化學、醫藥、食品界等不可或缺之重要設施。近幾年來由於技術之創新發展,對於產品的高精密度化,細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路及極大型積體電路之研究製造,已成為世界各國在科技發展上極為重視之項目。以至於國內外各大企業均一致看好而紛紛投入興建晶圓廠的行列。現有業者為了爭取時效,搶佔商機而莫不設法將現有晶圓廠先行大肆擴充產能規模,導致超出其原始設計之規劃標準許多,因而影響潔淨室之環境品質,由於 IC產品密度越來越高,也日益精密,相對於潔淨室的等級也越來越高,而潔淨室的建造成本也水漲船高,為了降低潔淨室的構裝成本。

   冠惟科技有限公司有鑒於此,乃提供新的潔淨室設計觀念,迷你潔淨環境單元( MINI-ENVIRON
MENT ENCLOSURE )採取模組化之整合設計概念,此類型架構類似SMIF型式,有各種獨立的潔淨區,唯區別在於其傳送方式非以連接臂進行而是以人員在密閉的潔淨室外進行操作,有獨立的空調和回風系統,此型式優點在於〝彈性隔間容易、構造成本低〞,使人與設備、產品有效隔離,如此做法可使人為的干擾及污染降至最低程度,並直接可提升產品良率

迷你型潔淨室設計概念可分二種:
  天花板連架式 (Ceiling Hung):隔牆板與超過濾網接觸閉合。
  地板支架式(Floor Supported):裝有風扇式過濾系統FFU。











※ 隔離地板型式區分 : 適用機型
1•大型組合平面式隔離地板 DNS-B-CLEAN 、DNS-C-CLEAN、DNS PRE-METAL APPLIED ENDURA 、APPLIED XR80、VARIAN EHP500
2•平面式隔離地板 ASML STEPPER 、ASYST SMIF CART BIO-RAD Q7 OVERLAY SEM 、HITACI-II S8840 CD SEM
3•加強式隔離地板 APPLIED XR80 、VARIAN EHP500
  (上鋪鐵板下加H型鋼) ENDURA 、SPUTTEI SUQAI WS---
4•高架地板上鋪設鐵板 CENTURA PASSIVATION
  (下無加設H型鋼) P5000 BP-TEOS 、CENTURA RAT、K/E V3F LP-TEOS
CENTURA WSIX CVD 、START OXIDE、LP-NITRIDE
WSIX ANNEAL 、SUQAI WS---
5•高架地板下鋪設H型鋼 P5000 BP-TEOS 、APPLIED CENTURA、CENTURA PESN
CENTURA WSIX 、K/E V3F WELL DRIVE –IN
K/E V3F PAD/SAC OXIDE 、K/E V3F LP DOPE POLY
6•單支獨立圓型腳座 KLA 2135 DEFECT INSPECTION 、KLA 2135 NIKON ADI / AEI / AFI、THERMA WAVE OP 2600、MICROSCOPE
7•挑樑式單支圓型腳座 KLA 2135 DEFECT INSPECTION 、KLA 2135 NIKON ADI / AEI / AFI、THERMA WAVE OP 2600、MICROSCOPE

※ 多用途軟質鹽化PVC隔間門簾

◆ 防靜電效果
  裝設 PVC門簾後在生產作業過程中,摩擦不會
  產生靜電而感到不舒服, 並將本身摩擦後帶電
  壓充分降低。
◆ 防蟲效果
 特別為食品衛生管理及環境清潔所相關區域,所
  特製之防蟲門簾,有效的散發驅
  蟲光波,達到防蟲效果。
◆ 超耐寒效果
 耐寒 PVC門簾在大型冷凍庫中,零下150℃低溫
  下,保持原有柔軟度,可防止資源流失,節省電
  源 。


 


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