※ 隔離地板型式區分 : |
適用機型 |
1•大型組合平面式隔離地板 |
DNS-B-CLEAN 、DNS-C-CLEAN、DNS PRE-METAL APPLIED ENDURA 、APPLIED XR80、VARIAN EHP500 |
2•平面式隔離地板 |
ASML STEPPER 、ASYST SMIF CART BIO-RAD Q7 OVERLAY SEM 、HITACI-II S8840 CD SEM |
3•加強式隔離地板 |
APPLIED XR80 、VARIAN EHP500 |
(上鋪鐵板下加H型鋼) |
ENDURA 、SPUTTEI SUQAI WS--- |
4•高架地板上鋪設鐵板 |
CENTURA PASSIVATION |
(下無加設H型鋼) |
P5000 BP-TEOS 、CENTURA RAT、K/E V3F LP-TEOS
CENTURA WSIX CVD 、START OXIDE、LP-NITRIDE
WSIX ANNEAL 、SUQAI WS--- |
5•高架地板下鋪設H型鋼 |
P5000 BP-TEOS 、APPLIED CENTURA、CENTURA PESN
CENTURA WSIX 、K/E V3F WELL DRIVE –IN
K/E V3F PAD/SAC OXIDE 、K/E V3F LP DOPE POLY |
6•單支獨立圓型腳座 |
KLA 2135 DEFECT INSPECTION 、KLA 2135 NIKON ADI / AEI / AFI、THERMA WAVE OP 2600、MICROSCOPE |
7•挑樑式單支圓型腳座 |
KLA 2135 DEFECT INSPECTION 、KLA 2135 NIKON ADI / AEI / AFI、THERMA WAVE OP 2600、MICROSCOPE |