| 3• 半導體化學濕式蝕刻設備、濕式清洗設備。 |
濕式蝕刻設備 ,濕式清洗設備,無塵室週邊設備,實驗室設備,廢藥液收集設備,化學桶槽及其它相關設備 詳述如下。
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| 設備類別 |
設備名稱 |
備註 |
濕式蝕刻設備
Wet Etch |
單多晶矽層蝕刻 |
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| 鋁蝕刻 |
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| 二氧化矽層蝕刻 |
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濕式清洗設備
Wet Cleaner |
石英爐管清洗機 |
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| RCA 清洗機 |
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| 超音波清洗機 |
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| 化學清洗槽 |
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| 零組件清洗槽 |
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| 無塵室週邊設備 |
氮氣櫃 |
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| 不鏽鋼工作桌 |
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| 化學藥瓶手推車 |
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| 維修集塵台 |
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| 石英爐管儲存櫃 |
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實驗室設備
LAB. Equipment |
排煙櫃 |
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| 實驗桌 |
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| 中央實驗桌 |
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| 化學藥瓶櫃 |
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| 局部清潔亭 |
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廢藥液收集設備
Drum Cabinet |
有機溶劑類 |
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| 強酸強鹼類 |
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| 輸送滾輪手推車 |
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| 滾輪暫存平台 |
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| 設備專用型自動滅火裝置 |
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化學桶槽
Tank |
不銹鋼桶槽 |
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| 石英桶槽 |
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| PP桶槽 |
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| PVDF桶槽 |
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WET BENCH-OPEN
(開放式操作區酸洗機) |
WET BENCH FOR ETCHING & CLEAN
(開放式蝕刻清洗機) |
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