※ QZ TANK & ATTACHED HEATER ( 石英槽&貼附式加熱器 )
1•為使晶片上殘留之藥劑 快速清洗掉而設計。 2•內容包含：快速排放， 上下給水，N2 氣泡及測 水阻值功能。
1•為因應浸泡式之治具 所設計。 2•內包含 QDR 所有動 作。
1•以傳統上下振動方式 。 2•用碘化鉀做金屬蝕刻 液。 3•並用內外循環過濾方 式處理蝕刻下之金屬微 粒 。
1•使用強酸鹼藥液時用 石英做槽體。 2•其加熱系統選擇貼附 式加熱器可減少藥液使 用量 。
1•一般使用硫酸時因其強 酸& 高溫，故選用石英 槽。 2•其加熱器之另一方式： 投入式加熱器。
